Kvarca vafeļu substrāts
Kvarca vafeļu substrāti ir plāksnes, kas galvenokārt izgatavotas no augstas{0}}tīrības pakāpes kvarca (SiO₂), ko plaši izmanto pusvadītājos, optoelektronikā, mikro-elektromehāniskajās sistēmās (MEMS), optiskajās ierīcēs un citās jomās.
Apraksts
Materiālu īpašības
- Augsta tīrības pakāpe:Parasti izgatavots no sintētiskā kvarca (piemēram, kausēta silīcija dioksīda), ar īpaši augstu tīrības pakāpi (vairāk nekā 99,99%) un minimālu piemaisījumu, lai izvairītos no ierīces veiktspējas ietekmēšanas.
- Termiskā stabilitāte:Zems termiskās izplešanās koeficients (≈0,55 × 10⁻⁶/grāds) un augsta temperatūras izturība (mīkstināšanas punkts ~ 1600 grādi), piemērots augstas temperatūras procesiem.
- Optiskā veiktspēja:Plašs caurlaidības diapazons (UV līdz IR), ar izcilu UV caurlaidību, ideāli piemērots fotomaskām, lēcām utt.
- Ķīmiskā inerce:Izturīgs pret skābēm un sārmiem (izņemot fluorūdeņražskābi), piemērots mitriem kodināšanas procesiem.
- Elektriskā izolācija:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm), ideāli piemērots substrātu vai augstfrekvences ierīču izolācijai.
Lietojumprogrammas
Pusvadītāju ražošana
- Fotomaskas substrāti
- EUV litogrāfijas komponenti
- Vafeļu apstrādes nesēji
Fotonika un optoelektronika
- Optisko viļņvadu substrāti
- Lāzerdiodes montāža
- Kvantu skaitļošanas komponenti
Speciālie pielietojumi
- MEMS rezonatoru bāzes
- Kosmiskā teleskopa optika
- Augstas{1}}enerģijas lāzersistēmas
Ražošanas process
- Izejvielu sintēze:Ražots ar tvaiku pārklāšanu (piemēram, SiCl₄ oksidēšana) vai dabiskā kvarca attīrīšanu.
- Kušana un formēšana:Augstas{0}}temperatūras kausēšana, kam seko atdzesēšana lietņos vai tieša ievilkšana stieņos.
- Griešana:Sagriež plānās vafelēs, izmantojot dimanta stiepļu zāģus vai lāzergriešanu.
- Slīpēšana un pulēšana:Ķīmiski mehāniskā pulēšana (CMP) nodrošina nanometru{0}}līdzenumu.
- Tīrīšana un pārbaude:Daļiņu un metāla piesārņotāju noņemšana, kam seko defektu un parametru pārbaude.
Īpašības
|
Fizikālās īpašības |
Vērtības |
|
Tīrība |
＞99.99% |
|
Blīvums |
2,2g/cm3 |
|
Caurspīdīgums |
＞90% |
|
Mosa cietība |
5.5--6.5 |
|
Deformācijas punkts |
1280 grādi |
|
Mīkstināšanas punkts |
1750 grādi |
|
Rūdīšanas punkts |
1250 grādi |
|
Īpatnējais karstums (20 - 350 grāds) |
670J/kg. grāds |
|
Siltumvadītspēja (20 grādi) |
1,4 W/m. grāds |
|
Siltumvadītspēja (w/mk, 1000 grādi) |
1.0-1.2 |
|
Refrakcijas indekss |
1.4585 |
|
Termiskās izplešanās koeficients |
5.510 -7cm/cm. grāds |
|
Karsta - darba temperatūra |
1750--2050 grādi |
|
Īstermiņa - pakalpojuma temperatūra |
1450 grādi |
|
Ilgtermiņa - pakalpojuma temperatūra |
1100 grādi |
|
Ķīmiskās īpašības |
Vērtības |
|
Skābju izturīgs |
Spēcīga skābe (izņemot HF), spēcīga sārma, organisks šķīdums |
|
Augsta temperatūra Izturīgs pret koroziju |
Lieliski |
|
Metāla piemaisījumu saturs |
＜5 ppm |
|
Elektriskās īpašības |
Vērtības |
|
Pretestība |
7107Ω.cm |
|
Izolācijas stiprība |
250-400Kv/cm |
|
Dielektriskā konstante |
3.7~3.9 |
|
Dielektriskās absorbcijas koeficients |
＜410-4 |
|
Dielektrisko zudumu koeficients |
＜110-4 |
|
Mehāniskās īpašības |
Vērtības |
|
Saspiešanas spēks |
1100 MPa |
|
Liekšanas spēks |
67 MPa |
|
Stiepes izturība |
48 MPa |
|
Puasona koeficients |
0.14~0.17 |
|
Younga modulis |
72000MPa |
|
Bīdes modulis |
31000 MPa |
FAQ
Q1: Kāds ir maksimālais pieejamais kvarca vafeļu substrāta izmērs?
A: Standarta ražošana līdz 300 mm diametram, ar 450 mm prototipiem, kas pieejami pētniecībai un attīstībai.
Q2: Vai varat nodrošināt pielāgotus biezuma profilus?
A: Jā, - mēs varam ražot:
- Ķīļveida vafeles (lāzera lietojumiem)
- Precīzi konusveida dizaini
- Mesa-strukturētas virsmas
Q3: Kādu tīrīšanas protokolu jūs ieteiktu?
A: Standarta RCA tīrīšanas process:
1. Organiskā noņemšana (H2SO4:H2O2)
2. Jonu tīrīšana (HCl:H2O2)
3. HF-pēdējais hidrofilai virsmai
Populāri tagi: kvarca vafeļu substrāts, Ķīnas kvarca vafeļu substrāta ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
Nosūtīt pieprasījumu
Jums varētu patikt arī
