Kvarca vafeļu tīrīšanas laiva
Kvarca vafeļu tīrīšanas laiva ir ierīce, ko izmanto vafeļu tīrīšanai pusvadītāju ražošanas procesā.
Materiāls: 99,99% kvarcs
Apraksts
Funkcijas
- Augstas temperatūras izturība
- Izturība pret koroziju
- Nodilumizturība
- Viegli tīrāms
Lietošana: noņemt virsmas piesārņotājus
Nodrošināt pusvadītāju mikroshēmu ražošanas kvalitāti.
Pieteikums
1. Pirms-difūzijas tīrīšana
Izmanto vafeļu transportēšanai, izmantojot slapjā stenda vai iegremdēšanas tīrīšanas posmus (piemēram, RCA tīrīšanu), lai noņemtu organiskos, metāliskos un daļiņveida piesārņotājus pirms augstas -temperatūras difūzijas vai oksidācijas procesiem.
2. Pēc-CMP (ķīmiskās mehāniskās planarizācijas) tīrīšana
Notur vafeles pēc-pulēšanas tīrīšanas, lai novērstu vircas atlikumus un virsmas defektus, nodrošinot optimālu līdzenumu turpmākajām litogrāfijas darbībām.
3. Līnijas-priekšpuses-beigas-(FEOL)
Izmanto kritiskos FEOL tīrīšanas posmos, kur ir nepieciešamas īpaši tīras virsmas, lai radītu oksīdu, epitaksiālo nogulsnēšanos vai jonu implantāciju.
4. Aizmugures-rindas-beigas-(BEOL)
Atbalsta vafeles pēc-kodināšanas vai pēc-nogulsnēšanas tīrīšanas, lai noņemtu fotorezistentu, kodināšanas blakusproduktus un metāliskus piemaisījumus pēc savienojuma izveidošanas.
5. Advanced Packaging
Atvieglo vafeļu -līmeņa tīrīšanu pirms griešanas kubiņos vai līmēšanas 2,5D/3D IC iepakojumā, nodrošinot nepiesārņotu-interfeisu uzticamiem starpsavienojumiem.
6. Fotoelementu ražošana
Izmanto saules bateriju ražošanā, lai notīrītu silīcija substrātus, uzlabojot virsmas kvalitāti, lai uzlabotu gaismas absorbciju un enerģijas pārveidošanas efektivitāti.
Īpašības
|
Fiziskās īpašības |
Vērtības |
|
Tīrība |
＞99.99% |
|
Blīvums |
2,2g/cm3 |
|
Caurspīdīgums |
＞90% |
|
Mosa cietība |
5.5--6.5 |
|
Deformācijas punkts |
1280 grādi |
|
Mīkstināšanas punkts |
1750 grādi |
|
Rūdīšanas punkts |
1250 grādi |
|
Īpatnējais karstums (20 - 350 grāds) |
670J/kg. grāds |
|
Siltumvadītspēja (20 grādi) |
1,4 W/m. grāds |
|
Siltumvadītspēja (w/mk, 1000 grādi) |
1.0-1.2 |
|
Refrakcijas indekss |
1.4585 |
|
Termiskās izplešanās koeficients |
5.510 -7cm/cm. grāds |
|
Karsta - darba temperatūra |
1750--2050 grādi |
|
Īstermiņa - pakalpojuma temperatūra |
1450 grādi |
|
Ilgtermiņa - pakalpojuma temperatūra |
1100 grādi |
|
Ķīmiskās īpašības |
Vērtības |
|
Skābju izturīgs |
Spēcīga skābe (izņemot HF), spēcīga sārma, organisks šķīdums |
|
Augsta temperatūra Izturīgs pret koroziju |
Lieliski |
|
Metāla piemaisījumu saturs |
＜5 ppm |
|
Elektriskās īpašības |
Vērtības |
|
Pretestība |
7107Ω.cm |
|
Izolācijas stiprība |
250-400Kv/cm |
|
Dielektriskā konstante |
3.7~3.9 |
|
Dielektriskās absorbcijas koeficients |
＜410-4 |
|
Dielektrisko zudumu koeficients |
＜110-4 |
|
Mehāniskās īpašības |
Vērtības |
|
Saspiešanas spēks |
1100 MPa |
|
Liekšanas spēks |
67 MPa |
|
Stiepes izturība |
48 MPa |
|
Puasona koeficients |
0.14~0.17 |
|
Younga modulis |
72000MPa |
|
Bīdes modulis |
31000 MPa |
Tīrīšanas metodes
Tīrīšana ar iegremdēšanu:
Novietojiet vafeles tīrīšanas laiviņā, pēc tam iegremdējiet tīrīšanas laivu tīrīšanas šķidrumā un palieliniet kontaktu starp tīrīšanas šķidrumu un vafeles virsmu, paceļot vafeļu laiviņu, lai uzlabotu tīrīšanas efektu.
Tīrīšana ar aerosolu:
Novietojiet tīrīšanas laivu smidzināšanas kamerā vertikāli un izmantojiet sprauslu, lai izsmidzinātu tīrīšanas šķidrumu uz vafeļu virsmas, lai noņemtu piesārņojumu.
Laivu tīrīšanas nozīme:
- Nodrošiniet vafeļu tīrību: tīrai vafeļu virsmai ir izšķiroša nozīme pusvadītāju mikroshēmu ražošanas kvalitātē, un tīrīšanas laivai ir būtiska nozīme tīrīšanas procesā.
- Nodrošiniet pusvadītāju mikroshēmu uzticamību: Nodrošiniet mikroshēmu uzticamību un samaziniet izstrādājuma defektus, noņemot virsmas piesārņotājus.
- Uzlabojiet pusvadītāju mikroshēmu ražīgumu: uzlabojiet vafeļu tīrību, tādējādi uzlabojot pusvadītāju mikroshēmu iznākumu.
Populāri tagi: kvarca vafeļu tīrīšanas laiva, Ķīnas kvarca vafeļu tīrīšanas laivu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
Nosūtīt pieprasījumu
Jums varētu patikt arī
